4月25日晚间，芯源微披露2023年一季报。

该公司一季度业绩续创同期新高：期间实现营业收入2.88亿元，同比增长56.89%；净利润6597.74万元，同比增长103.55%；基本每股收益0.71元。


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同时，该公司盈利能力持续增强。一季度销售毛利率为45.31%，单季同比增长16.94pcts。

芯源微是国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的设备商。

该公司表示，业绩增长的主要原因在于，半导体设备行业景气度持续，公司收入规模持续增长；公司销售收入增加及嵌入式软件产品退税到账款增加。

从季报可看出，今年以来，芯源微保持了较高的研发投入、在手订单充足。

一季度其研发费用同比大增175.68%至3526万元。截至3月底，其存货和合同负债分别为14.40和5.20亿元，分别同比增长33.05%和19.75%。芯源微经营生产规模持续扩大，将进一步支持公司业绩稳健增长。

此前4月18日，芯源微发布了2022年年度报告，期间营收和净利润实现高速增长：2022年营业收入为13.85亿元，同比增长67.12%；净利润为2亿元，同比增长158.77%；扣非净利润为1.37亿元，同比增长114.99%；毛利率为38.4%，同比增长0.31pcts；净利率为14.45%，同比增长5.12pcts。

比亮眼业绩更可喜的是，芯源微在前道涂胶显影领域实现了技术突破。

该公司的前道涂胶显影机与各厂家主要技术节点的国际主流光刻机都能联机量产，其28nm浸没式涂胶显影机已经实现了国内28nm及以上制程工艺的全覆盖。

技术突破将进一步回馈到公司业绩，2022年芯源微经营性净现金流1.93亿元，同比大幅由负转正，新签订单约22亿元，再创历史新高，其中前道产品实现了快速放量。

而上述设备已获多家知名厂商订单，目前陆续开始放量，将迎来批量订单的增长拐点。

另外，在前道物理清洗机已成为中芯国际在内的各大晶圆厂主流产品的同时，芯源微正积极布局前道化学清洗机，这一新产品的研发测试正在沈阳厂区进行中，上海子公司的厂区建设也已进入机电设备安装阶段，2023年四季度将投入生产，届时化学清洗机将成为公司新的营收增长点。

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